真空爐的安全使用是安全生產(chǎn)的重要組成部分，除了做實(shí)驗以外，建議不要讓停留在高溫爐管附近。在使用時要注意以下事項：

1、在實(shí)驗工作完畢以后，要關(guān)特殊氣體，保留N2流動即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度，并要仔細(xì)查看其它電源是否關(guān)閉，如果沒有就隨手關(guān)閉。

2、在使用管電爐時還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體，以便發(fā)生中毒的情況。

3、在沒有使用到時，要將爐子的長短推桿的前端朝上放置，以免污染。

4、在晶片進(jìn)出爐口承接boat的holder的時候，盡量不要碰觸管式爐的爐管口，以免爐管受到污染。

在試驗過程中，請節(jié)約純水的使用，一旦發(fā)現(xiàn)安全隱患或者不正常的現(xiàn)象時，要盡快通知有關(guān)技術(shù)人員，以防止事故的發(fā)生。